勻膠旋涂儀設計標準為結構緊湊、簡單易用,程控操作,且能夠升級自動點膠功能,尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內進出,具有優異的性價比。亦可提供分體式設計,進行嵌入式安裝,與手套箱進行配合。該款產品已在老款型號上進行了升級,外型進行了變化,轉速及加速度得到了提高,真空腔進一步改善從而不易堵膠。
勻膠旋涂儀價格實惠,操作簡單,結構小巧緊湊,占地空間小,為實驗室提供了理想的解決方案。該款勻膠旋涂儀采用創新設計的托盤,無需真空泵或充氮氣,就能達到很好的旋涂效果;內置調整水平裝置,較大限度的保證旋涂均勻;可對大小不同規格的基片進行旋涂。勻膠旋涂儀用于實驗室項目建設.作為用于除半導體外,還有硅片、芯片、基片、導電玻璃及制版等表面涂覆工藝,科研、教學之用高精度涂敷。
勻膠旋涂儀特點:
(1)外觀整潔、美觀,占地面積小,節省超凈間的使用面積;
(2)材質易于清洗和維護,設備結構布局合理,用戶操作、使用、維修方便;
(3)采用成熟、可靠的系統結構方式,確保設備工作的可靠性;
(4)設備具備高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務完備。
勻膠旋涂儀主要用微細加工、半導體、微電子、光電子和納米技術工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設備配合使用。設備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求,并配制相應的托盤夾具。驗收除按賣方提供的標準基片外,另外可根據買方要求的 10mm 的碎片和4英寸的晶圓片等驗收試驗要求。
勻膠旋涂儀提供了先進、、可重復的工藝流程控制方案。 一個的空氣動力學腔體確保旋涂的高度均勻性,天然聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯(PTFE)材質,整機無金屬裸露,無交叉污染,易清洗維護,為用戶帶來全新的操作體驗。