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關(guān)于Ion Source離子源 等離子離子源 LMIS 和 GFIS 是三種常見(jiàn)的離子源類(lèi)型。LMIS 和 GFIS 具有出色的源亮度。因此，它們被廣泛用于高分辨率離子束成像和微加工應(yīng)用。然而，LMIS 和 GFIS 的總電流比等離子離子源低許多數(shù)量級(jí)。如果特征尺寸大于 50 nm，則等離子離子源可以實(shí)現(xiàn)比 LMIS 和 GFIS 高得多的通量。