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Tergeo-EM TEM/SEM 等離子體清洗機專為研究、開發和小批量生產而量身定制。在表面清洗、活化、有機污染物去除、粘合增強和光刻膠灰化方面表現出色。其精度和多功能性使其成為納米技術、材料科學、微加工和故障分析應用的理想選擇。憑借免維護設計和低擁有成本,提供了長期價值。
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