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橢偏儀是一種利用偏振態的變化 后光束探測樣品反應技術。不像反射儀，參數（PSI和Del）是在非正常的入射角得到。改變入射角。可以得到更多的數據集，這將有助于精煉模型，減少不確定性和提高用戶的數據信心。因此，可變角度比固定角度的系統具有更強大的功能 。目前有兩種方法改變入射角，手動或自動模式。