KLA Filmetrics F3-sX薄膜厚度測量儀系列,涵蓋近紅外光波長范圍980 nm、1310 nm及1550 nm,能夠測量從15納米至3毫米的薄膜厚度,適用于半導體與介電層等材料。該設備具備單點測量功能,配備10微米光斑尺寸的集成光譜儀和光源,并支持擴展功能如自動化測繪平臺和不同波長選項。此外,它還提供了超過130種材料的數(shù)據(jù)庫支持,以及在線技術支持服務。
KLA Filmetrics F3-CS快速厚度測量系統(tǒng)專為微小視野及樣品設計,支持快速、簡易的厚度測量,適用于聚對二甲苯和真空鍍膜層等。其具備自動校正功能,可自動調(diào)節(jié)靈敏度并簡化設置過程。系統(tǒng)可通過USB供電,并兼容多種Windows操作系統(tǒng)。
KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測量儀通過同時測量反射和透射光譜,實現(xiàn)真空鍍膜的快速、精確分析。該設備價格合理,具備分析、FWHM確定及顏色分析功能,并可通過選配模塊擴展其厚度和折射率測量能力。配備FILMeasure 8軟件和多種參考材料,支持多種薄膜類型,覆蓋從紫外到近紅外的寬波長范圍,提供高效的測量結果輸出及全面的技術支持服務。
KLA Filmetrics F10-HC薄膜厚度測量儀是一款專為測量單層和多層硬涂層設計的儀器,基于F20平臺,采用光譜反射分析技術,提供快速準確的測量結果。該設備已在世界各地廣泛使用,尤其受到汽車硬涂層公司的青睞。附帶全套軟件、探頭及參考材料等配件,并提供持續(xù)的技術支持與升級服務。
KLA Filmetrics F20臺式薄膜厚度測量系統(tǒng);經(jīng)濟實惠的膜厚儀系列在幾秒鐘內(nèi)就能完成高精度的薄膜厚度測量。這些易于使用的儀器與智能軟件和一系列附件和配置相結合,可提供最大的通用性,可測量厚度為 1 納米至 3 毫米的薄膜。