以真空鍍膜為設計目標,KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測量儀只要單擊鼠標即可獲得反射和透射光譜。 只需傳統價格的一小部分,用戶就能進行分析、確定 FWHM 并進行顏色分析。
可選的厚度和折射率模塊讓您能夠充分利用KLA Filmetrics F10-RT薄膜厚度測量儀的分析能力。測量結果能被快速地導出和打印。
集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 8 軟件
BK7 參考材料
Si 參考材料
防反光板
鏡頭紙
型號 | 厚度范圍 | 波長范圍 |
F10-RT | 15nm-70μm | 380-1050nm |
F10-RT-UV | 1nm-40μm | 190-1100nm |
F10-RT-UVX | 1nm-150μm | 190-1700nm |
F10-RT-NIR | 100nm-150μm | 950-1700nm |
F10-RT-EXR | 15nm-150μm | 380-1700nm |