只需按下一個按鈕,您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率。設置同樣簡單, 只需插上設備到您運行Windows™系統計算機的USB端口, 并連接樣品平臺 , KLA Filmetrics F20臺式薄膜厚度測量系統已在世界各地有成千上萬的應用被使用. 事實上,我們每天從我們的客戶學習更多的應用。
擇您的KLA Filmetrics F20臺式薄膜厚度測量系統主要取決於您需要測量的薄膜的厚度(確定所需的波長范圍)
集成光譜儀/光源裝置
FILMeasure 8 軟件
FILMeasure 獨立軟件 (用于遠程數據分析)
SS-3 樣品平臺 及對應 光纖電纜
參考材料
厚度標準
整平濾波器 (用于高反射基板)
備用燈
型號 | 厚度范圍* | 波長范圍 |
F20 | 15nm-70μm | 380-1050nm |
F20-EXR | 15nm-250μm | 380-1700nm |
F20-NIR | 100nm-250μm | 950-1700nm |
F20-UV | 1nm-40μm | 190-1100nm |
F20-UVX | 1nm-250μm | 190-1700nm |
F20-XT | 0.2μm-450μm | 1440-1690nm |
F3-sX系列 | 10μm-3mm | 960-1580nm |