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簡要描述:Gas Mixers氣體混配器用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子源
產(chǎn)品型號:
所屬分類:氣體混配器
更新時(shí)間:2025-06-24
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子源只能接受一個(gè)氣體輸入。對于某些研究項(xiàng)目,用戶可能需要為 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子體源混合多種工藝氣體。此處列出的三端口氣體混配器集成了多達(dá)三個(gè)質(zhì)量流量受控氣體輸入端口、一個(gè)排氣/旁路泵端口和一個(gè)混合氣體輸出端口。氣體輸出端口應(yīng)連接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)上的氣體輸入端口。如果需要高純度氣體輸送,排氣/旁通泵出口提供高電導(dǎo)泵送途徑,以排空氣體管。
觸摸屏用戶界面
多達(dá) 3 個(gè)質(zhì)量流量受控的氣體輸入端口
用于通風(fēng)室和高速抽氣管的排氣/旁路端口。
不同氣體種類的流速補(bǔ)償
集成計(jì)時(shí)器
110~230V 通用交流電源輸入。