SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)

簡要描述：關(guān)于SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)
SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子體清洗機(jī)基于勞倫斯伯克利國家實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比，我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進(jìn)一步提高了等離子體強(qiáng)度多達(dá) 3 倍。

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所屬分類：SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)

更新時(shí)間：2025-06-24

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)是 SEMI-KLEEN 系列等離子體清潔器的特殊版本，用于超高真空（UHV）室和樣品清潔應(yīng)用。等離子體源主體由釬焊到不銹鋼凸緣的玻璃管構(gòu)成。所有的真空接頭都是玻璃-金屬釬焊或金屬-金屬接觸。在源體內(nèi)沒有使用聚合物密封。等離子體源的背面是 1/4 英寸的 VCR 連接器。前側(cè)法蘭為 CF2.75″（DN 40 CF）不銹鋼。

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)

SEMI-KLEEN UHV等離子體清洗機(jī)有兩種控制氣體流量的方法：手動(dòng)針閥或外部 MFC。SEMI-KLEEN 控制器可以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)外部 MFC 并自動(dòng)混合兩種工藝氣體。如果使用外部 MFC 來控制氣體流速，則配方可以指定每個(gè) MFC 的氣體流速。